从尼康官网参数表获悉，NSR-S636E 光刻机支撑 38nm 以下精度，吞吐量可达 280 片晶圆 / 小时。

据日经新闻此前报道，时隔二十多年，尼康将于 2024 年投放光刻机新产品，通过追求逆势开辟中国大陆市场，以实现卷土重来。

报道还称，尼康和佳能曾在 1990 年代之前主导市场，但在最尖端的极紫外（EUV）装备的开发竞争中败给了 ASML。极紫外光刻机在 2010 年后半期适用化，全世界只有 ASML 能够生产。另一方面，尼康的经营资源疏散在各种光源上，缺少强势领域。